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发明名称 A method of producing a compound semiconductor device
摘要
申请公布号 GB2215516(A) 申请公布日期 1989.09.20
申请号 GB19880018768 申请日期 1988.08.08
申请人 * MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 TERUYUKI * SHIMURA
分类号 H01L21/20;H01L21/265 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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