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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE OF MASTER SLICING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH01235251(A) 申请公布日期 1989.09.20
申请号 JP19880062556 申请日期 1988.03.15
申请人 NEC CORP 发明人 YAMAGUCHI MASAYA
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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