发明名称 PATTERN GENERATOR FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT TESTER
摘要
申请公布号 JPH01235874(A) 申请公布日期 1989.09.20
申请号 JP19880063937 申请日期 1988.03.16
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 HIRAKATA YOSHIHARU
分类号 G01R31/3183;G01R31/28;G11C29/00;G11C29/10;H01L21/66 主分类号 G01R31/3183
代理机构 代理人
主权项
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