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发明名称 THIN FILM SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01235276(A) 申请公布日期 1989.09.20
申请号 JP19880061273 申请日期 1988.03.15
申请人 SONY CORP 发明人 HAYASHI HISAO;WAKAMIYA KINJI
分类号 H01L27/12;H01L21/316;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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