发明名称 SUBSTRATE POSITIONING JIG FOR SUBSTRATE CARRYING IN DEVICE AND ITS FIXING
摘要
申请公布号 JPH01234197(A) 申请公布日期 1989.09.19
申请号 JP19880058386 申请日期 1988.03.14
申请人 JAPAN STEEL WORKS LTD:THE 发明人 BANDO HIDEO;OTANI TAKASHI
分类号 B26F1/00;H05K3/00;H05K13/04 主分类号 B26F1/00
代理机构 代理人
主权项
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