发明名称 ELECTRON BEAM TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01231252(A) 申请公布日期 1989.09.14
申请号 JP19880056006 申请日期 1988.03.11
申请人 NEC CORP 发明人 NAMITA HIROMITSU
分类号 H01J37/28;B23K15/00;B23K15/02;H01J37/30;H01L21/20;H01L21/263;H01L21/324 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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