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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01231252(A)
申请公布日期
1989.09.14
申请号
JP19880056006
申请日期
1988.03.11
申请人
NEC CORP
发明人
NAMITA HIROMITSU
分类号
H01J37/28;B23K15/00;B23K15/02;H01J37/30;H01L21/20;H01L21/263;H01L21/324
主分类号
H01J37/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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