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经营范围
发明名称
MAGNETRON SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01230771(A)
申请公布日期
1989.09.14
申请号
JP19880056780
申请日期
1988.03.10
申请人
TOKIN CORP
发明人
KANNO YOSHIO
分类号
H01L21/203;C23C14/35;C23C14/36;H01L21/208
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
地址
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