移动式电子扫描显微镜

摘要

一种移动式电子扫描显微镜，其样品室5位于其基座中部并带有可视开口6，此开口的尺寸大于该开口平面内的最大点域摆动。样品室真空密闭又可横动地置于一基板上，在此基板中部有一与可视开口相通的通孔，而在此基板的底面还有一环绕上述通孔的第一密封垫3。本发明可较佳地用于较大表面的非破坏性表面分析中，例如对飞机机翼，导弹部件和其它大型零件疲劳现象的探查。

主权项

1、一种台式电子扫描显微镜，其特征在于所述显微镜的样品室5带有一可视开口6，此开口位于其基座的中部，可视开口6的尺寸大于该可视开口6平面内的最大点域摆动，所述样品室真空密闭且可横动地置于基板2上，该基板的中部有一与可视开口6同轴的通孔4，在该基板2的底面还有第一密封垫3用于对应所要检验的表面予以密封且环绕所述通孔4。