发明名称 PROJECTION ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH01227431(A) 申请公布日期 1989.09.11
申请号 JP19880053899 申请日期 1988.03.07
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOMORIYA SUSUMU;KAWANABE TAKAO;NAKAGAWA SHINYA;OOSAKAYA TAKAYOSHI
分类号 G03F9/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
地址