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发明名称
FORMATION OF OHMIC ELECTRODE
摘要
申请公布号
JPH01215019(A)
申请公布日期
1989.08.29
申请号
JP19880039556
申请日期
1988.02.24
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
KAWAHISA YASUTO;SASAKI MASAHIRO
分类号
H01L21/28;H01L21/205;H01L21/263
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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