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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01214046(A) 申请公布日期 1989.08.28
申请号 JP19880039839 申请日期 1988.02.22
申请人 NEC CORP 发明人 ITO HIROSHI
分类号 H01L21/3213;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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