发明名称 FOERFARANDE FOER KONTROLLERING AV EN TILLVAEXTPROCESS FOER EN MED FOSFOR DOPAD KISELDIOXIDFILM.
摘要
申请公布号 FI894010(A0) 申请公布日期 1989.08.25
申请号 FI19890004010 申请日期 1989.08.25
申请人 MICRONAS OY 发明人 TAMMENMAA, MARKKU
分类号 C23C16/52;G01N23/223;(IPC1-7):C23C/ 主分类号 C23C16/52
代理机构 代理人
主权项
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