发明名称 MANUFACTURE OF GLASS THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH01212444(A) 申请公布日期 1989.08.25
申请号 JP19880036819 申请日期 1988.02.19
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SEKI YASUKAZU
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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