发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR THE OPTICAL DETECTION OF THE ROUGHNESS PROFILE OF A MATERIAL SURFACE
摘要
申请公布号 AU2976589(A) 申请公布日期 1989.08.24
申请号 AU19890029765 申请日期 1989.02.08
申请人 ERWIN SICK G.M.B.H. OPTIK-ELEKTRONIK 发明人 KLAUS WEBER;HERBERT PETTINGER;KARL PIETZSCH
分类号 G01B11/30;(IPC1-7):G01B11/30;G01N21/47 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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