发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR THE OPTICAL DETECTION OF THE ROUGHNESS PROFILE OF A MATERIAL SURFACE |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2976589(A) |
申请公布日期 |
1989.08.24 |
申请号 |
AU19890029765 |
申请日期 |
1989.02.08 |
申请人 |
ERWIN SICK G.M.B.H. OPTIK-ELEKTRONIK |
发明人 |
KLAUS WEBER;HERBERT PETTINGER;KARL PIETZSCH |
分类号 |
G01B11/30;(IPC1-7):G01B11/30;G01N21/47 |
主分类号 |
G01B11/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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