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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01208857(A) 申请公布日期 1989.08.22
申请号 JP19880034449 申请日期 1988.02.16
申请人 NEC CORP 发明人 OGAWA HISAO
分类号 H01L21/8249;H01L21/331;H01L21/76;H01L27/06;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L21/8249
代理机构 代理人
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