CLEAN BOX FOR WAFER CASSETTE,申请号JP19880031736-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	CLEAN BOX FOR WAFER CASSETTE
摘要
申请公布号	JPH01207944(A)	申请公布日期	1989.08.21
申请号	JP19880031736	申请日期	1988.02.16
申请人	FUJITSU LTD	发明人	MACHIDA AKIRA
分类号	H01L21/673;H01L21/68	主分类号	H01L21/673
代理机构		代理人
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