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发明名称 WAFERING CASSETTE
摘要
申请公布号 KR890005394(Y1) 申请公布日期 1989.08.18
申请号 KR19860019658U 申请日期 1986.12.09
申请人 HYUNDAI ELECTRIC IND. CO. LTD. 发明人 KIM MUN-HO
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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