发明名称
摘要
申请公布号 JPH01121932(U) 申请公布日期 1989.08.18
申请号 JP19880018253U 申请日期 1988.02.15
申请人 发明人
分类号 B23Q3/08;B25J15/06;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B23Q3/08
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利