发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01206649(A) 申请公布日期 1989.08.18
申请号 JP19880030733 申请日期 1988.02.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 OKUYA KEN
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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