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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01204427(A) 申请公布日期 1989.08.17
申请号 JP19880027529 申请日期 1988.02.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 MATSUZAKI HARUMI;OKOCHI ISAO;EBARA KATSUYA;TAKAHASHI SANKICHI;HISHINUMA TAKAO;MOCHIZUKI YASUHIRO;KUROKAWA HIDEAKI
分类号 H01L21/304;B08B7/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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