发明名称 ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01204424(A) 申请公布日期 1989.08.17
申请号 JP19880029792 申请日期 1988.02.09
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 HORIUCHI TAKAO;ARAI IZUMI;TAWARA YOSHIFUMI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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