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经营范围
发明名称
ASHING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH01205529(A)
申请公布日期
1989.08.17
申请号
JP19880030221
申请日期
1988.02.12
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
URUSHIBARA MASAHIDE
分类号
H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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