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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01204440(A) 申请公布日期 1989.08.17
申请号 JP19880029462 申请日期 1988.02.09
申请人 NEC CORP 发明人 HIRATA KAZUMI
分类号 H01L21/762;H01L21/76;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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