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发明名称 INSPECTION INSTRUMENT
摘要
申请公布号 JPH01203946(A) 申请公布日期 1989.08.16
申请号 JP19880029794 申请日期 1988.02.09
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 ABE YUICHI
分类号 G01N21/84;G01N21/88;G01N21/958;G01R1/073;G02F1/13;H01L21/66 主分类号 G01N21/84
代理机构 代理人
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