| 发明名称 |
VACUUM VAPOR GROWTH DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH01201482(A) |
申请公布日期 |
1989.08.14 |
| 申请号 |
JP19880115663 |
申请日期 |
1988.05.12 |
| 申请人 |
NIPPON ANERUBA KK |
发明人 |
NUMAJIRI KENJI;MORISAKO ISAMU |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/458;C23C16/48;H01L21/205;H01L21/26 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
