| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01200676(A) |
申请公布日期 |
1989.08.11 |
| 申请号 |
JP19880025376 |
申请日期 |
1988.02.05 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
FUNATO KENJI;ISHIBASHI AKIRA;MORI YOSHIFUMI |
| 分类号 |
H01L21/28;C23F1/00;C23F4/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/306;H01L21/338;H01L29/78;H01L29/80;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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