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发明名称 WAFER CARRIER CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01199431(A) 申请公布日期 1989.08.10
申请号 JP19880024385 申请日期 1988.02.04
申请人 SONY CORP 发明人 SUZUKI NORIO
分类号 H01L21/304;B08B3/02 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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