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发明名称
LOW PRESSURE VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01198477(A)
申请公布日期
1989.08.10
申请号
JP19880024458
申请日期
1988.02.03
申请人
NEC YAMAGUCHI LTD
发明人
OKAMURA MIKIO
分类号
C30B25/14;C23C16/44;C23C16/455
主分类号
C30B25/14
代理机构
代理人
主权项
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