发明名称 LOW PRESSURE VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01198477(A) 申请公布日期 1989.08.10
申请号 JP19880024458 申请日期 1988.02.03
申请人 NEC YAMAGUCHI LTD 发明人 OKAMURA MIKIO
分类号 C30B25/14;C23C16/44;C23C16/455 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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