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发明名称
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申请公布号 JPH0137856(B2) 申请公布日期 1989.08.09
申请号 JP19780063170 申请日期 1978.05.25
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 IKUSHIMA YASUTAKA;KUBOTA TAKEHIKO;TASHIRO TSUTOMU
分类号 H01L29/73;H01L21/28;H01L21/331;H01L29/04;H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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