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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01196818(A) 申请公布日期 1989.08.08
申请号 JP19880022289 申请日期 1988.02.02
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IZAWA TETSUO;MORI HARUHISA
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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