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发明名称 FORMATION OF CONTACT HOLE IN INTERLAYER INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH01196139(A) 申请公布日期 1989.08.07
申请号 JP19880019522 申请日期 1988.02.01
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OSHIMA KATSUO
分类号 H01L21/3213 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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