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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR THIN FILM SYNTHESIS BY HYBRID PLASMA
摘要
申请公布号 JPH01191779(A) 申请公布日期 1989.08.01
申请号 JP19880014529 申请日期 1988.01.27
申请人 SAGA UNIV 发明人 FUJITA KANJI
分类号 C23C16/34;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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