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发明名称 TUNGSTEN DEPOSITING METHOD
摘要
申请公布号 JPH01191778(A) 申请公布日期 1989.08.01
申请号 JP19880312162 申请日期 1988.12.12
申请人 SUPEKUTORAMU C V D INC 发明人 SHIYUI II UU;JIEI BII PURAISU;JIYON MENDONKA;YUU CHIYAN CHIYOU
分类号 C23C16/14;C23C16/50 主分类号 C23C16/14
代理机构 代理人
主权项
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