发明名称 CONVEYOR FOR TRANSPORTING BODY TO BE TREATED INTO HEAT TREATING FURNACE
摘要
申请公布号 JPH01183813(A) 申请公布日期 1989.07.21
申请号 JP19880009310 申请日期 1988.01.18
申请人 TEL SAGAMI LTD 发明人 MIYAGAWA KAZUHISA
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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