发明名称 DEVICE TESTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH02205777(A) 申请公布日期 1990.08.15
申请号 JP19890025535 申请日期 1989.02.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OZAKI KAZUNARI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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