| 发明名称 |
APPAREIL DE TRAITEMENT D'UN ECHANTILLON TOURNANT DANS UNE ENCEINTE A VIDE |
| 摘要 |
<P>L'invention concerne les techniques de traitement d'un échantillon sous vide.</P><P>Un appareil prévu pour traiter un échantillon 2 comprend notamment une enceinte à vide 5 sur laquelle est montée une traversée hermétique 37; un rotor creux 15 dont une extrémité supporte l'échantillon; des moyens de conduction d'énergie 4 qui passent à travers le rotor; une structure d'aimants intérieure 18 fixée au rotor; une structure d'aimants extérieure 23 qui peut tourner autour de l'enceinte à vide de façon à entraîner le rotor; et une source 12 qui dirige une matière ou un rayonnement vers le substrat.</P><P>Application au traitement de substrats semiconducteurs.</P>
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| 申请公布号 |
FR2625920(A1) |
申请公布日期 |
1989.07.21 |
| 申请号 |
FR19880016306 |
申请日期 |
1988.12.12 |
| 申请人 |
VG INSTRUMENTS GROUP LTD |
发明人 |
NIGEL WILLIAM BEARD;ROBERT BERNARD PHILLIPS;PAUL RICHARD STONESTREET |
| 分类号 |
C23C14/50;C30B23/02;C30B35/00;H01L21/00 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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