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发明名称
摘要
申请公布号
DE3705360(C2)
申请公布日期
1989.07.20
申请号
DE19873705360
申请日期
1987.02.17
申请人
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV, 8000 MUENCHEN, DE
发明人
BETZ, HANS, DR.;WEIGMANN, UWE, DR.;BURGHAUSE, HELMUT, DIPL.-PHYS., 1000 BERLIN, DE
分类号
G03F1/00
主分类号
G03F1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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