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发明名称
SEMICONDUCTOR PHOTO-DETECTOR HAVING A TWO-STEPPED IMPURITY PROFILE
摘要
申请公布号
EP0216572(A3)
申请公布日期
1989.07.19
申请号
EP19860306984
申请日期
1986.09.10
申请人
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人
KURODA, FUMIHIKO C/O PATENT DIVISION;SADAMASA, TETSUO C/O PATENT DIVISION;SUZUKI, NOBUO C/O PATENT DIVISION;NAKAMURA, MASARU C/O PATENT DIVISION
分类号
H01L21/265;H01L31/105;H01L31/107;(IPC1-7):H01L31/10
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
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