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经营范围
发明名称
LOAD-LOCK SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH01179409(A)
申请公布日期
1989.07.17
申请号
JP19880001497
申请日期
1988.01.07
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
TAKAHASHI KAZUHISA
分类号
H01L21/205;H01L21/31
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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