发明名称 FORMATION OF ELECTRODE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01179316(A) 申请公布日期 1989.07.17
申请号 JP19880000944 申请日期 1988.01.05
申请人 NEC CORP 发明人 OKAMOTO AKIHIKO
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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