发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH01171264(A) 申请公布日期 1989.07.06
申请号 JP19870331177 申请日期 1987.12.25
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 SEKIKAWA NOBUYUKI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/04;H01L27/06;H01L29/72;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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