发明名称 ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 JPH01167942(A) 申请公布日期 1989.07.03
申请号 JP19870329110 申请日期 1987.12.24
申请人 NEC YAMAGUCHI LTD 发明人 NAKATANI KENJI
分类号 H01J37/05;H01J37/141;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/05
代理机构 代理人
主权项
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