发明名称 |
PROCESS FOR SATURATING ORGANIC METALLIC COMPOUND |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH01168331(A) |
申请公布日期 |
1989.07.03 |
申请号 |
JP19870325385 |
申请日期 |
1987.12.24 |
申请人 |
MITSUI TOATSU CHEM INC |
发明人 |
HIAI ATSUHIKO;WAKIMURA KAZUO |
分类号 |
H01L39/24;B01J7/00;C23C16/448;H01B13/00 |
主分类号 |
H01L39/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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