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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01166540(A) 申请公布日期 1989.06.30
申请号 JP19870324143 申请日期 1987.12.23
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 IDA JIRO;SAWACHI MASAO
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/336;H01L23/52;H01L29/78 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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