| 发明名称 |
THIN FILM DEVICE AND PRODUCTION THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01165012(A) |
申请公布日期 |
1989.06.29 |
| 申请号 |
JP19870321505 |
申请日期 |
1987.12.21 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
YODA HIROAKI;ISHIDA ARICHIKA;OKANO SUMIO;KUDO REIKO |
| 分类号 |
G11B5/31;G11B21/08;H01L21/3205;H01L23/52 |
主分类号 |
G11B5/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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