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发明名称
LCVD-VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON METALLSCHICHTEN AUF TRANSPARENTEN SUBSTRATEN
摘要
申请公布号
DD269404(A1)
申请公布日期
1989.06.28
申请号
DD19880313365
申请日期
1988.02.29
申请人
VEB CARL ZEISS JENA,DD
发明人
RAUPACH,LUTZ,DD;BERNITZKI,HELMUT,DD;STEFFEN,JOACHIM,DD
分类号
C23C16/02;(IPC1-7):C23C16/02
主分类号
C23C16/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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