发明名称 LCVD-VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON METALLSCHICHTEN AUF TRANSPARENTEN SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 DD269404(A1) 申请公布日期 1989.06.28
申请号 DD19880313365 申请日期 1988.02.29
申请人 VEB CARL ZEISS JENA,DD 发明人 RAUPACH,LUTZ,DD;BERNITZKI,HELMUT,DD;STEFFEN,JOACHIM,DD
分类号 C23C16/02;(IPC1-7):C23C16/02 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
主权项
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