发明名称 VACUUM DEPOSITION OF A PNICTIDE FILM
摘要
申请公布号 IE841640(L) 申请公布日期 1985.08.17
申请号 IE19840001640 申请日期 1984.06.28
申请人 STAUFFER CHEMICAL CO. 发明人
分类号 C23C14/38;H01L21/363;(IPC1-7):C23C14/38 主分类号 C23C14/38
代理机构 代理人
主权项
地址