发明名称 CHEMICAL POLISHING BATH AND METHOD FOR SURFACE OF COPPER OR COPPER ALLOY
摘要
申请公布号 JPH01159385(A) 申请公布日期 1989.06.22
申请号 JP19880240636 申请日期 1988.09.26
申请人 SOLVAY & CIE 发明人 DANIERU TEITOGA;SUTEFUAAN MAKUNUSU
分类号 C23F3/00;C23F3/06 主分类号 C23F3/00
代理机构 代理人
主权项
地址