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发明名称 CONTINUOUSLY PULLED SINGLE CRYSTAL SILICON INGOTS.
摘要
申请公布号 EP0205422(A4) 申请公布日期 1989.06.21
申请号 EP19850900367 申请日期 1984.12.04
申请人 J.C. SCHUMACHER COMPANY 发明人 SCHUMACHER, JOHN, C.
分类号 H01L21/18;C30B15/00;C30B15/02;C30B15/04;C30B29/06 主分类号 H01L21/18
代理机构 代理人
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