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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号 EP0137649(B1) 申请公布日期 1989.06.21
申请号 EP19840305545 申请日期 1984.08.15
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 AITKEN, DEREK
分类号 H01J27/14;H01J27/02;H01J27/08;H01J37/05;H01J37/08;H01J37/248;H01J37/317;H01J49/30;H01L21/265 主分类号 H01J27/14
代理机构 代理人
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